“每每看到面板行业从设备到核心零部件完全被国外垄断，心里很不是滋味。我也经常会问自己：既然热爱这个行业，为什么自己不做到最好？或许是这股子不服气，也或许是对国家深深的热爱，让我决定把技术掌握在咱们中国人自己手里，解决掉卡在半导体设备脖子上的那些难题”。

  在一块5米见方的板子上，如何确保均匀分布的十几万个孔在厚度、孔径等方面没有丝毫误差？这项在以往不敢想象的工艺技术，现在芜湖通潮精密机械股份有限公司成为常规技术，通过技术升级自研工艺及技术控制程序辅助加工，精准度可达到纳米级。

  该公司为外界称道的不止这一项技术。2016年，芜湖通潮精密机械股份有限公司正式落户芜湖市，司奇峰任董事长。八年来，公司致力于泛半导体产业核心零部件的研发及生产，在国内首家成功将CVD（化学气相沉积）、DRY（干法刻蚀）电极部件国产化，所生产的高精度电极产品及其技术已完全实现国产化并取得业内高度认可。目前，公司产品已全方面覆盖面板、半导体、光伏等泛半导体薄膜工艺、刻蚀工艺等关键领域，业务板块也从再生服务延伸到新品设计、精加工、PM服务等。2023年公司出售的收益较2022年增长100%，税收增长超过100%；同年获评工信部专精特新“小巨人”企业称号，被授予液晶面板及半导体真空设备核心部件安徽省企业研发中心，企业收获了在泛半导体领域创新技术实力和实践经验的国家级认可。

  “既然热爱这个行业，为啥不做到最好？”谈及创业初衷，司奇峰直言，大学毕业后，自己先后任职于南京瑞福达微电子技术有限公司、南京中电熊猫平板显示科技有限公司等。“看到面板行业从设备到核心零部件完全被国外垄断，心里很不是滋味，就想着自己要做点什么。”从小怀揣科技报国梦想的司奇峰，就这样带着核心技术和团队来到芜湖市创业。

  八年来，团队从始至终坚持以半导体设备零部件国产化为己任，积极践行国家“进口替代”计划，经过两年多的努力，公司于2023年打通了电极微细孔加工、镜面Polishing、化学后处理刻蚀工程及特殊化学洗净工程等核心技术，攻克了硅电极新品加工技术难题，成功拓展半导体刻蚀、PVD、CVD设备核心部件的表面处理及清洗等核心业务，所生产的硅和石英电极部件大范围的应用于64-128层堆叠、7-14纳米芯片相关设备，在国内率先突破半导体蚀刻工程Si、Quartz、Al2O3、SiC等特别的材料核心部件开发及新品加工能力，相关这类的产品已全面实现国产替代。目前，产品已经持续稳定向长江存储、合肥长鑫等企业供货，某些特定的程度上打破半导体高端制程核心零部件长期依赖国际进口的局面。

  司奇峰回忆道，创业之初，产品在喷涂工艺、电性能一致性方面迟迟不能突破，导致金钱上的压力特别紧张；后来团队经过三个多月的日夜拼搏，终于各项性能指标实现全面突破，并陆续将CVD（化学气相沉积）、DRY（干法刻蚀）电极部件实现国产化。

  得益于地方政府及各界同仁的支持，公司所生产的半导体核心精密零部件技术已全面赶超进口水平，有力地保障了我国半导体核心制程及相关生产线核心装备自主可控，大幅度的降低我国液晶面板生产线建设投资和生产所带来的成本，并能有效地防止生产线建设和维护出现“卡脖子”现象。司奇峰先后获安徽省第六批“特支计划”创业领军人才、芜湖市战略性新兴起的产业专家等称号。

  “关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的”。这些年的创业经历，让我深感中国芯片的国产化之路充满曲折和挑战，也提醒自己时刻谨记企业所肩负的半导体设备零部件国产化重任。中国的半导体产业需要10年乃至20年的韬光养晦，我们唯有风雨兼程，脚踏实地奋起直追。希望广大正在创业的青年，能够着眼国际大势，加入半导体产业细分赛道，合力保障我国半导体产业供应链的安全，为我国芯片产业国产化贡献一份自己的力量。 □司奇峰

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